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半导体和光电机械设备
Boostec SiC解决方案
- 开放式Boostec碳化硅解决方案配置选项
- 机械强度高、无机械疲劳
- 碳化硅材料的各向同性
- 可作为光学基准的抛光面,
- 长期稳定
- 水气密闭、无除气、无吸湿
- 耐磨性
- 优良的化学惯性
BOOSTEC在制造和设计方面的专业知识
- Boostec公司在制造3米级稳定结构方面拥有独家经验。
- 单个部件上集成解决方案的可能性:空气轴承系统,带内部通道的冷却系统、后视镜
- 从整体式碳化硅零件到可能的复杂组件,Boostec的产品包括高度稳定的工作台、基板、横梁和滑动结构,可实现快速准确的定位、卡盘
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