硅片制造工艺
单晶生长过程(直拉法-CZ):
由于对炉中温度梯度精确的控制,在大于1425℃时,这种硅结晶方法常用于制造大型的圆柱形单晶体块。然后用钢丝锯将这些晶块切片,得到硅晶片,可用于微型电子及光伏产业。
美尔森供应以下元件:
- 纯石墨坩埚
- 纯净的石墨发热元件
- 热区刚性保温材料
- 石墨或碳/碳复合隔热罩
- 炉体保温。
定向凝固系统(DSS):
控制硅熔体的冷却以获得足够宽度结晶区晶块的凝固。然后用钢丝锯将这些晶块切片,得到硅晶片,主要用于光伏产业。
美尔森供应以下元件:
- 纯净的石墨发热元件
- 热区刚性碳保温材料
- 复合紧固件
- 复合板
- 石墨换热器
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F-92231 GENNEVILLIERS France
+33 (0)1 41 85 43 00
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+1 616-754 56 71
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