半导体和光电机械设备

美尔森Boostec能够提供目前半导体和光机械设备所需的碳化硅超稳定结构。

BOOSTEC碳化硅解决方案可用于需要高准确度的场合：

• 半导体制造工艺过程
• EUV光刻机
• 专业的光学表面测量仪器
• 高真空
• 科研设备

• 美尔森Boostec公司在制造3米级稳定结构方面拥有专业的经验
• 单个部件上集成解决方案的可能性：空气轴承系统、带内部通道的冷却系统、后视镜
• 从整体式碳化硅零件到可能的复杂组件，美尔森Boostec碳化硅产品包括稳定的工作台、基板、横梁和滑动结构，可实现准确的定位和卡盘

• 开放的Boostec碳化硅解决方案配置选项
• 机械强度高、无机械疲劳
• 碳化硅材料的各向同性
• 可作为光学基准的抛光面
• 长期稳定
• 水气密闭、无泄气、无吸湿
• 抗磨损
• 良好的化学惯性