文档
Brochures
High-Performance Carbon Insulation Solutions by Mersen
pdf - 13.38 MB
-
用于硅片制造工艺中的高温保温材料
多晶硅行业需要不断满足市场新要求并降低成本。
美尔森的一系列产品旨在实现这些目标：
- 使高纯度多晶硅现可以9N作为标准，并在不久的将来达到10N纯度
- 通过使用可持续设备降低维护成本
- 降低过程中能源消耗成本
-
多晶硅制造的耗材和设备
美尔森为多晶硅制造行业提供耗材和设备：
- 超纯石墨电极
- 超纯复合石墨加热器
- 大尺寸、超纯复合材料及石墨圆筒
- 高纯的硬质保温材料和柔性毡
-
氢化炉：高温加氢的STC再循环反应器（SiCl4）
在沉积过程中，很大一部分气体转化为STC（SiCl4）。为了提升产量，需要在1500℃的高温加氢反应器中将STC回收为TCS。
美尔森的特性以及种类多样的产品系列可以为业界提供多种选择：
- 超纯石墨圆筒，直径可达1.5米
- 特别的涂层可延长使用寿命
- 高性能高纯度的硬质保温材料
- 碳碳复合加热器和板材
-
流化床反应器
在反应器的石英腔内，硅微晶粒被排放到与硅烷相反的流向中。
反应器和气体入口通过石墨加热器加热并且由硬质保温材料进行保温。
硅烷分解成硅并使微晶粒变大，得到颗粒状多晶硅。
-
西门子工艺还原炉：
石英反应器腔室内有非常细的U型硅芯，用于安装在高纯度石墨电极上。
石墨电极提供的电流促成硅芯发热。
气态三氯硅烷SiHCl3（TCS）在高温下冲透沉积室并分解，在热硅芯上沉积纯硅。
当沉积过程完成后，将硅棒从反应器中取出并敲碎就能得到块状多晶硅。
-
下载
文档
技术文件
11/28/2024
Carbon & graphite for the PV industrypdf - 1.34 MB
技术文件
11/28/2024
Purified graphite silicon carbide graphite enhancementpdf - 2.09 MB
