文档
Brochures
High-Performance Carbon Insulation Solutions by Mersen
pdf - 13.38 MB
-
通过物理气相传输（PVT）生长碳化硅（SiC）
通过物理气相传输（PVT）生长碳化硅（SiC）是一种用于生产品质良好的碳化硅晶体的工艺。
主要步骤：
- 升华：碳化硅源材料在石墨坩埚中加热到高温（通常高于2000°C），使其升华（直接从固体转变为气态）
- 转变：气态的硅和碳物质通过气相传输，蒸汽冷凝到通常位于坩埚顶部较冷的晶种上，并结晶形成新的碳化硅层。精控热梯度将蒸汽从下部驱动到晶种，这是晶体均匀生长的重要步骤。随着时间的推移，碳化硅晶体逐层沉积，达到所需的厚度和质量。
物理气相传输PVT因其能够生产电子和光电子应用所需要的大型高纯度碳化硅晶体而受到青睐。
-
保温材料的特性
温度控制
保温材料有助于保持碳化硅升华和沉积所需的高温。持续稳定的温场对于晶体的均匀生长很重要。
热梯度
适当的保温材料可实现稳定的热梯度，这对于将汽化物质从源材料引导到晶种流动、促使其均匀生长十分重要。
能源效率
合适的保温材料能减少热损失，从而降低能耗和成本，同时提供碳化硅生长所需的条件。
杂质预防
保温材料也经常起到阻挡杂质的作用，否则杂质可能会进入晶体，影响其质量。
减少应力
通过保持均匀的温度，保温材料有助于减少生长晶体内的热应力，降低缺陷和错位的可能性。
总体而言，专业的保温材料对于实现具有物理和电学性能的品质碳化硅晶体十分重要。
-
美尔森保温材料CALCARB Edge的主要特点
- 特别的筒套筒（CwC）结构为客户提供了具有经济效益的解决方案，与市场上其他可用的替代解决方案相比，可节省能源损耗。
- 我们特定的工艺和材料组合在热和机械性能公差方面提供了非常小的标准偏差。
- 可在高温（2400°C）下进行准确的过程控制。
-
美尔森保温材料CALCARB Edge具有良好的保温性能
美尔森保温材料CALCARB Edge在高温下具有良好的保温性能，使其成为关注工艺能效客户的选择。
美尔森保温材料CALCARB Edge可改进您的工艺效率
美尔森硬质保温材料CALCARB Edge比其他高温保温材料更容易加工。它的均匀性，再加上它可被加工成多种复杂的形状，在高温过程中能准确控制热梯度。
美尔森保温材料CALCARB Edge即使在恶劣的环境中也能延长使用寿命
美尔森开发了一系列完整的工艺，旨在增强美尔森保温材料CALCARB在恶劣环境中的耐受性：
- 热解碳渗透-CVI涂层保护材料免受反应性气体对其主要部分产生影响。
- 使用特别的碳化硅SiC CVI涂层的美尔森保温材料CALCARB可以降低硬毡在1000°C温度以上对氢气的反应。
- 为了使气体具有不渗透性并减少通过侵蚀而产生的粉尘，美尔森保温材料CALCARB的表面涂层可以采用石墨纸、石墨涂层和气相沉积CVD涂层工艺。
