半导体工艺设备

在薄膜沉积阶段如外延或MOCVD，美尔森提供高纯石墨结构部件来放置衬底和硅片。 作为这个过程的重要一环，石墨外延传感盘或卫星石墨盘会受到沉积环境的影响：

• 高温
• 高真空
• 使用腐蚀性气态前驱体
• 零污染、无剥离
• 清洗过程中耐强酸腐蚀

美尔森超纯且带碳化硅涂层的石墨产品可以满足要求。

这些专门的解决方案是我们在材料和精密加工方面钻研的成果

• 经ETV-ICP法检测过的超纯石墨等级。
• 美尔森石墨等级与碳化硅的兼容性（CTE）有助于实现涂层的长期完整性。
• 我们的精密加工过程经历了三个维度的检验，可满足复杂部件的设计需求。