高纯石墨：多晶硅制造

石英反应器腔室内有非常细的U型硅芯安装在高纯度的石墨电极上。

石墨电极提供的电流促成硅芯发热。

气态三氯硅烷（TCS）在高温下冲透沉积室并分解，在热硅芯上沉积纯硅。

当沉积过程完成后，将硅棒从反应器中取出并敲碎以得到块状多晶硅。

美尔森在这个工艺中提供作为消耗件的超纯石墨电极

在反应器的石英腔内，硅微晶粒被排放到与硅烷相反的流向中。

反应器和气体入口通过石墨加热器加热并且由硬质保温材料进行保温。

硅烷分解成硅并使微晶粒变大，得到颗粒状多晶硅。

在沉积过程中，很大一部分气体转化为STC（SiCl4）。为了提升产量，需要在1500℃的高温加氢反应器中将STC回收为TCS。

美尔森的专业技术以及种类多样的产品系列可为业界提供多种选择：

• 超纯石墨圆筒，直径可达1.5米。
• 特别的涂层可延长使用寿命。
• 高性能高纯的硬质保温材料。
• 碳碳复合加热器和板材